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二氧化锡薄膜的电阻气敏和光透射率气敏性能

林殷茵 , 汤庭鳌 , 黄维宁 , 姜国宝 , 姚熹

无机材料学报

以无机盐为原料，采用新颖的溶胶－凝胶工艺制备了具有优良电阻－气敏性能的纳米晶二氧化锡薄膜，其在最佳工作温度 ２００℃对 ６００ｐｐｍ ＣＯ的灵敏度可达 ５００，响应时间和恢复时间分别为１３ｓ和 ２０ｓ．进一步研究了薄膜的光透射率－气敏性能，发现当通 ＣＯ时，透射率下降，最佳工作温度与电阻－气敏性能一致，当提高薄膜的退火温度时，电阻－气敏和光透射率－气敏的灵敏度均下降．分析了产生这些现象的原因．

关键词: 薄膜 , SnO₂ , gas sensitive , transmittance , sol-gel method